Det tidligere Bygholm Len omdøbtes til Stjernholm Len efter lensmandens flytning 1617 fra det ældste Bygholm til det gamle Sankt Hans Korsbrødrekloster kaldet Stjernholm, som lå i det østlige Horsens. Lenet erstattedes 1661 (eller 1662) af Stjernholm Amt, som omfattede Bjerre, Hatting og Nim herreder.
Efter 1683 genbrugtes materialerne fra Stjernholm Slot til byggeri af Bygholm Hovedgård, og ligesom Havreballegård Amt lagdes amtet under stiftamtmands-embedet for Århus Stift, se der.
Søn af generalprokurør (ledende kancellisekretær) Niels Benzon.
Var forinden i 2 omgange stiftamtmand i Norge.
Blev 1747 overpræsident i København, 1750 vicestatholder for Norge og var 1770-1771 statholder.
Død ugift i Århus og arvedes af brorsønnen Christian von Benzon (1718-1801), der bl.a. havde Tirsbæk Hovedgård.
Amtmand og stiftamtmand indtil 1780.
Købmandssøn fra Horsens.
Uddannet teolog. Var kabinetssekretær for Arveprins Frederik, sikrede 1772 arrestationen af Johann Friedrich Struensee og avancerede til gehejmekabinetssekretær og gehejmestatsminister.
Amtmand indtil 1795 og stiftamtmand indtil 1802.
Købte 1798 Hald Hovedgård.
Ved reformen af 1793 indgik de 3 herreder i Vejle Amt.
Nim Herred blev dog allerede i 1799 overført til Århus Amt, og indgik fra 1824 i det nyoprettede Skanderborg Amt.